利用六西格玛方法来提高生产力晶圆厂
作为业务整合的结果，显着提高生产要求，Intersil的主要晶圆正面临着供应与需求的瓶颈。 Intersil公司招募泰芬美国率先支持 确定晶圆厂瓶颈，然后制定一个周期的能力和改善全面的路线图。对泰芬美国以及Intersil成员组成的小组进行了短暂的评估，以确认 摄影领域是瓶颈，然后发起了积极的和有重点的跨部门的改进团队。改善团队结合了他们在半导体制造与DMAIC的丰富经验 方法系统地定义，测量，分析，改进和控制性能的照片。在未来6个月后的初步评估，照片循环时间下降了60％，而图片和整体晶圆厂 产量增加至创纪录水平（增幅为40％）。在下面的文章中，我们将重点介绍如何使用六西格玛DMAIC的方法和其他工具，以消除瓶颈，并最终控制和 维持在下面的文章，半导体环境change.Given的敏感和专有性，我们将在DMAIC方法的重点，其应用在Intersil公司，以及规范化的表现 指标（而不是具体的业绩指标是这样的关键DMAIC的方法）。在本文中，我们将重点介绍如何DMAIC的方法指导我们的活动，我们作出了让步，因此，改善 和解决方案的团队开发，和结果的类型，我们能够achieve.In 2002年秋天很明显的Intersil公司，他们没有足够的产能以满足市场需求。他们 预测需要增加每周37％晶圆数量。在晶圆所需的增加可能在光刻机的产量增长43％，根据产品结构。除了 需求的要求，增加循环次数，造成调度和承诺issues.Intersil知道的几个问题，并已进行了几个项目，以解决一些问题。但是，他们的 容量规划预计短缺之间的产能增长预期从目前的项目和他们所需要的能力，以满足坡道计划。因此，他们决定可能受益于外部 资源与适当的专业知识。在这一点上，泰芬从事帮助他们专注于正确的问题，然后积极制定和实施solutions.The在DMAIC方法它的第一步 “定义”的范围和项目的重点。你不想尝试煮沸大海，所以你需要范围的项目，这样可以实现在一个可接受的时间跨度的结果。该定义的过程 开始于短期网站的工厂运营的评估。基于Intersil的现有能力的数据和业绩指标，它清楚地看出，照片区（大衣，揭露，开发，测量）是首要 瓶颈了所有主要地区（其他地区正在干蚀刻，扩散，离子注入，沉积和湿蚀刻）。阿成为Fab旅游证实了数据显示。该照片面积淹没在制品的 每个车站和工具，这是造成在制品过多运作效率低下的阻碍安排，分期，人员配备，etc.At这一点的范围和项目的重点变得更为清晰。在高 一级，照片面积的瓶颈，制约了产量和缩短生产周期所需的容量。鉴于整个照片面积相对较小的规模，各个领域的工作人员之间的融合，流动的在制品 这些地区之间，和一般的相互依赖地区之间的照片，它是确定该地区的照片需要处理作为一个整体（即与大衣开始，然后揭露，开发，测量）。 Intersil公司已经有工具安装工程正在进行中，应该净值15％-20％的额外容量。因此，泰芬被质疑是：找到一个额外的20％-25％的能力，使Intersil公司，以满足其需求 targets.Another重要的决定在这个项目的早期阶段，是一个指导委员会。对于任何规模如此庞大的项目要取得成功，必须有明确的支持和快速的决定 管理和股权持有人。从项目，Intersil公司和泰芬组织了每周一次会议，审查进展情况，活动一开始，计划，进度和问题。指导委员会由 高层次管理和工程的领导人，谁是该项目的评估活动，进展，有能力和方向，并使一切必要的决定。这个指导委员会是必不可少的，及时 实施解决方案的整个project.Given的照片领域项目的范围内，在DMAIC的下一步是“措施”。这项措施的步骤有四个主要目标：1。更具体的界定 该项目的范围，划定必要的改进活动。 2。收集数据的资格改进的机会和量化改进的潜力。 3。收集数据，以量化 当前状态的性能和它创建一个可以衡量的改善的基准。 4。根据有关资料分析，说明这些根源的identified.Even问题的洞察力如果客户端有 自动数据收集和分析（这是在Intersil公司的情况），重要的是要验证数据之前，使用它，了解如何收集数据，以及如何产生的业绩指标。 为此，泰芬执行了广泛的观察研究报告（称为1马鞍山，多站的观测研究）。在这种情况下，泰芬执行了，简称马鞍山的entailed设备的采样 和人员的国家，每天24小时在4天。四抽样使所有五个轮班队观察几天。最终的结果是约400名观察每个实体（例如，大衣工具＃1，经营十，测量 工具＃4等）指定的生产活动，空闲的活动，无法活动，马鞍山等数据收集技术（见图2马鞍山方法）已被证明是一个非常精确的验证方法 客户的数据，并不够详细，便于进行分析复杂的数据（见生产资源性能图3和4）。马鞍山还提供了一个宝贵机会，泰芬花 在生产环境中大量的时间，以便更好地了解问题所在，以及他们的根本原因（拧）可能be.The马鞍山结果使我们能够改进项目的范围，以集中精力处理集合 的主要活动。例如，图4说明了一个曝光的工具集和他们的潜力改善能力非生产性，闲置的活动。马鞍山的数据，结合Intersil的自动化 数据提供了一个明确的基准，可衡量的改进。此外，通过建立基线我们能够计算和目标的具体表现由Intersil需要满足数 生产目标。在较高的水平，性能和容量的基线表示通过面积产量和缩短生产周期相结合，并在整个项目的趋势化每周。在这一点上，我们取得了进展 迅速的DMAIC的进程的下一步骤，并开始“分析”的根源是什么人批评的能力。使用以前由马鞍山，确定改进的机会，介绍我们 创建四个重点小组，对付平行的问题。为确保进度和沟通，福克斯队负责在每周的报告指导委员会meetings.Given管理的领域 我们创造了机会跨部门小组，重点集中在四个主要领域：1。工作方法？评估影响的层操作员方面的表现，工作方法，孤立的问题领域，确定最佳 方法，规范，并创建新的工作方法来提高性能。例如，鉴于工具业务在换班下降（见图。3），一名该小组的任务是分析了在转变发生什么 改变这一下降的原因，认识根源，提高转移的变化过程。 2。调度和调度？评估的相互作用和对领域的表现影响了MES的指令， 发现任何批评以优化吞吐量和周期时间，并进行必要的修改，以改善性能。调度小组还接受了重新设计的优先战略和责任 算法，这将适用于照片领域的第一个，然后在整个晶圆厂扩大。例如，大多数地区的工具，照片冲洗充填速度反对者，因此这支球队的一个任务是要了解 信息运营商需要优化阶段的产品，尽量减少损失，从产品的速度型更换，并确保这些资料的有效和高效的方式向经营者 实时调度列出用于运行该地区。 3。容量规划？创建一个详细的战略，规划工具的能力，以便更好地了解和预测工具的能力的要求，制作精细速度模型 工具，以更准确模型工具的吞吐量，并确定提高刀具性能的机会。例如，在建立一个高速模型（电子表格，根据计算工具的性能当然 不同的经营情况的基础上，工具的性能测试数据的工具），我们发现了一个替代的工具配置，将扩大一倍不增加面积的工具或工具的输出 造成产量问题，并与Intersil维修和供应商一起设计和实施升级。 4。培训？负责记录和正式的变化和改善创造索普（标准， 作业程序）在适当的时候，并将其纳入培训做法的变化。这支球队的基本目标是采取了变化，从其他车队的改进，并将其纳入 今后的培训项目，以确保业务的变化划分为几个，跨职能团队的重点主要是进行分区的工作中需要大量的资源sustained.The动力 工作要做分析的运作，并允许对改善和解决方案的同时执行。理想情况下，改变和改善将在受控制的方式，与主要性能指标 监测的影响程度。然而，由于市场需求和能力限制，时间是关键，作为经常在现实世界的情况，特许权，必须用于起见， 得到尽快的结果。我们的地区在保存信息的费用在今后的时间DMAIC的阶段，“改善”。鉴于大量工作是在第一次完成了3 在DMAIC的过程阶段，我们有信心在推动改进活动。我们在这一点上的立场是，如果我们在最初三个阶段的工作做好，我们的改善活动将 成功。在这一点上，我们可以采取更多的时间和精力来设计实验和KPI的更准确地量化每项改进活动的影响。但是，相反，我们一直在我们的网站更广泛的 底线关键绩效指标的指示在更高水平的提高（例如，工具的可用性，产出，周期时间等）和KPI的具体，足以表明我们的初步方面的改进机会。例如， 图6总结了球队的一些工作方法的结果。前三个图6中所述的问题都将影响在变化改变经营业绩。实施改善所有三个 对这些问题，同时使人们很难确定每影响在转移变化的问题已经严重。然而，关键绩效指标的监测工具，在换班的表现将说明 从“底线”的角度来看，如果我们解决，我们初步确定的机会。我们收集的数据表明，约3％，总面积容量是通过失去效率 转移的变化和时间。我们开发了一个关键绩效指标来跟踪在转移的曝光工具集变革的工具的性能。作为趋势线图7所示，取得预期结果。在实施 任何变化，在变化的曝光工具变化能力的损失平均每周有很大的差异，从一周到8％左右。实施后不久，前三个工作方法的改进，容量损失 下降到3％左右，一周至一周变化显着下降，并改进sustained.Once改善和执行活动正在进行中，必须考虑到最后一步的 在DMAIC的过程中，“控制”。为了成功地控制，改善营商必须考虑建立一个进程，促进双方对执行活动的监督和 这些变化的永久地嵌入到组织。在我们的情况下，这一阶段的执行过程中采取两种形式：1。创造一些新的关键绩效指标的跟踪工具，都详细方面的表现 和高层次的关键绩效指标的跟踪方面的产量和生产周期的整体照片领域的业绩。 2。一个跨职能培训队纳入文件和业务变化的专科门诊使用的由 Intersil的培训部和业务管理团队。我们的方法来衡量和表征性能等级。的变化和重点从事队开始改善 在Intersil的晶圆厂各级人员，并作为结果，细节和背景不同水平的KPI的要求有明确的目的和意义。例如，在最基层的经营者 和区域主管需要了解非常具体和实时怎样一个地区或正在执行的工具来衡量，如果每日产量目标将得到满足。这种信息所需的水平，必须建立建设 日常表现图（见图。八日）提供实时反馈给每个所队工作区输出/ shift.Another步骤概括了用户创建一个历史业绩图表 提供的信息在性能方面的趋势。这种类型的KPI规定，无论是否正在发生改善，如果正在持续改善的宝贵意见。例如，图。 9 说明了在周期时间的表现（虚线在一个大衣工具集）后实施改善改善。这表是每个人的好例子，说明好这个周期时间 改善得以维持一周一周，由于产量是一贯的，或在同一时间周期时间正在减少增加。监测最高级别的性能与关键绩效指标进行的是 跟踪整个面积产量和性能。 “底线”，可以这么说，是要改善方面的能力40％。通过一系列的产量增加和周期组合时间减少，结果表明整体能力 超过这个目标。高级别关键绩效指标的，像图10（行显示输出），是至关重要的监测能力的提高这方面，并确保晶圆厂性能处于高水平持续 productivity.Actual照片面积产量增长了35％，并维持在这一水平。同时这个产量，实际增长周期时间减少了60％（见图。10）。这种周期时间减少 维持在这样低的水平。鉴于这种能力，可以输出或循环使用时，增加的生产能力将不会总是被单独显示输出的测量。同样，周期时间测量不会 总是显示能力的提高，如果产量增加。因此，基于泊松性能曲线被用于估计能力的增加，从周期时间减少造成的。性能曲线 内容丰富的关键绩效指标的，因为产量或利用可绘制的周期时间以指示的整体能力。图形输出和周期时间的性能曲线可以说明如何一起能力增加 被利用，输出，或周期，或以某种both.Using一泊松制度相结合，即，运行曲线的周期时间和设备的基础（即服务器）可以创建使用。循环时间 标准化是一个X因素参数，其中“X”是一个单位的时间在系统中的开支。图11中的性能曲线联合收割机产量和周期时间的改善，估计总容量 改善47％，从而超过了原来的targets.In综合，六西格玛DMAIC的方法是一种认识问题行之有效的方法，创造改善行动。对于任何 工具，有很多方法来使用它，运用它successfully.About泰芬泰芬是一个7个美国，欧洲和以色列设立上市公司，咨询公司国际业务。该公司拥有超过 20年的经验，在改善世界各地的整体作战效能的财富500强客户。泰芬设计和实施解决方案，提高在整个经营业绩 组织。重点的主要领域包括卓越运营，制造，质量，客户服务，研究和开发，供应链管理。在泰芬的支持项目都是ISO 9001和 塔塔咨询服务公司（总分顾客满意）的认证。我们动手方法已取得在提供量化和价值驱动的结果成功。该公司仍然有利可图自成立以来，现有员工
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