웨이퍼 팹 생산성 향상을 위해 6 시그마 방법론을 사용하여
운영의 통합의 결과로서 생산이 크게 요구 사항, Intersil의 주요 팹 증가에 비해 공급이 수요에 병목 현상에 직면했다. Intersil의 Tefen 미국을 지원하는 최초의 입대 다음 용량 및 사이클 타임을 개선을위한 종합적인 로드맵을 개발 팹 병목 현상을 식별. 팀 Tefen 미국과 Intersil의 회원으로 구성되어 확인하는 간단한 평가를 실시한 사진 영역 병목 현상을 누른했다 공격적이고 초점을 교차 기능적 팀 개선을 시작했습니다. 팀 개선 DMAIC와 반도체 제조에서 풍부한 경험을 결합하여 체계적으로 정의, 측정, 분석, 개선, 및 제어 성능을 사진 방법론. 향후 6 개월 동안의 초기 평가에 사진을 사이클 타임을 60 % 감소 이후, 한동안 사진 및 전반적인 팹 생산 (40 % 증가) 수준을 기록 증가했다. 다음 문서에서는, 우리가 어떻게, 그리고 궁극적으로는 병목 현상을 제거하고 제어하는 6 시그마 DMAIC 방식 및 기타 도구를 사용 강조 표시됩니다 다음 문서에서 우리는 DMAIC 방법론, Intersil의 자사의 애플 리케이션, 그리고 정상 성능을 집중할 것입니다 반도체 환경 change.Given 민감하고 독자적인 성격을 유지 지표 (안 구체적인 성과 지표가 너무 DMAIC 방법) 열쇠가되었다. 우리가 강조 표시됩니다이 문서에서는 DMAIC 방법 메서드했다 우리가 양보를 왜 만들었 우리의 활동을 유도, 개선 및 솔루션 개발 팀, 그리고 결과의 유형을 우리는 2002 년 그것은 그들이 생산 능력은 시장 수요를 충족하지 않았다 Intersil의 확실히 된 가을 achieve.In 수 있었다. 그들은 필요 37 % 주당 웨이퍼의 시작의 수를 늘리기 위해 예측. 웨이퍼 시작에 필요한 증가, 제품 믹스에 따라 43 %의 리소그래피 출력 증가 드라이브 수있습니다. 이외에 수요가 요구 사항, 사이클 시간 증가 문제를 몇 가지 알고 있었어요 여러 프로젝트를 진행 중에 몇 가지 문제를 해결했다 스케줄링 및 헌신 issues.Intersil 발생했다. 하지만, 그들의 사이의 용량을 현재 프로젝트에서 그들은 진입로 계획을 달성하기 위해 필요한 용량 증가 예상 용량 계획 부족 전망했다. 결과적으로, 그들이 외부로부터 혜택을 수도 결정 적절한 전문 지식과 자원. 이 시점에서, Tefen 그들이 바로 문제에 집중할 수 있도록, 그리고 적극적으로 개발하고 그것을 DMAIC 방법론에 solutions.The을 구현하는 첫 번째 단계는 약혼했다 ""범위와 프로젝트의 초점을 정의합니다. 당신은 바다를 끓여야하려고, 그래서 범위를 프로젝트에 필요 싶지 않아요 당신이 수용 가능한 시간 범위에서 같은 결과를 얻을 수있습니다. 정의 프로세스 에 대한 짧은 공장 작업 현장 평가와 함께 시작했다. Intersil의 현재 용량의 데이터 및 성과 지표에 그 사진 영역 (코트, 폭로, 개발 분명해졌을 바탕으로 측정) 기본했다 모든 주요 분야에서 병목 현상 (다른 분야 드라이 엣지, 확산, 이온 임플란트, 증착 및 습식 엣지)되고. 팹의 여행은 어떤 데이터를 나타내는 확인했다. 사진 WIP를 가지고 지역의 침수됐다 모든 역 및 도구,이 과도한 WIP 운영의 비효율로 예약을 방해한 혐의로, 준비, 인력, 범위, 프로젝트의 초점을 훨씬 명확하게 된이 시점 etc.At에 기여했다. 높은 레벨, 사진 영역 병목 현상, 용량 출력 및 사이클 타임에 필요한 자제했다. 전체 사진 영역의 비교적 작은 크기로 봐서는, 모든 분야 사이의 인력을 통합, WIP의 흐름 이러한 영역, 그리고 일반적인 상호 의존성 사진 영역간에, 그것은 사진 분야에 필요한 전체 (즉, 코트와 함께 시작하는 다음, 노출, 개발, 측정을 다루어야하는) 결정했다. Intersil의 이미 진행이 -20 %를 추가 용량의 15 %가 그물을해야한다 도구를 설치하는 프로젝트를했다. 따라서, Tefen Intersil의 자사의 요구를 충족시킬 수 있도록 -25 % 용량을 추가로 20 %를 찾는 데 도전했다 targets.Another 중추적인 의사 결정이 프로젝트의 초기 단계에서 만든 운영위원회의 제작했다. 이 범위의 프로젝트 성공을 위해, 거기에 있어야합니다 분명 지원과 신속한 의사 결정에 의해 관리 및 지분 보유자. 프로젝트 및 Tefen Intersil의 진행, 활동을 검토하는 주간 회의를 조직의 초기부터, 계획, 일정, 그리고 문제. 운영위원회의 구성되었습니다 누가 프로젝트 활동, 발전 방향 능력을 평가했다 높은 수준의 관리 및 엔지니어링 지도자, 그리고 모든 필요한 결정. 이것은 운영위원회 적시에 필수적인했다 DMAIC에서 사진 영역의 project.Given 프로젝트 범위에 걸쳐 솔루션의 구현 다음 단계는 "측정"입니다. 측정하는 4 단계의 주요 목표 : 1. 더 구체적으로 정의 프로젝트의 범위와 윤곽을 그리다 필수 개선 활동. 2. 개선을위한 데이터를 수집할 수있는 기회를 자격 및 개선을위한 그들의 잠재력을 계량. 3. 모아 데이터를 정할 현재 상태로 성능의 향상과 측정 기준을 만들 수있습니다. 4. 만약 고객이 근본 원인에 대한 문제 identified.Even 무엇입니까에 대한 통찰력을 제공하는 데이터 분석을 바탕으로 자동화된 데이터 수집 및 분석 (는 Intersil의의 경우), 그것을 중요하기 전에 그것을 사용하여 데이터 유효성을 검사 였고, 데이터를 수집하는 방법을 이해하고, 어떻게 성과 지표 생성됩니다. 이를 위해, Tefen (어떤 멀티 스탠드 MOS - 관찰 연구로 함) 광범위한 관찰 연구 수행. 이 경우, Tefen 약식 MOS 수행이 장비의 샘플링을 수반 4 일 동안 인원은 미국 24 시간 하루. 모든 5 교대 팀의 샘플링 활성화 관찰의 4 일. 엔티티마다 최종 결과에 대해선 400 관측 (예, 코트 도구 # 1, 운영 엑스, 측정 도구 # 4, 등)을 지정하는 생산 활동, 유휴 활동 사용할 수없는 활동 등 수법의 살인인 데이터 수집 기술을 (그림 2) 유효성 검사에 대한 매우 정확한 방법으로 증명하고있다 MOS 방법론 참조 클라이언트의 데이터를 충분히 상세 정교한 데이터 분석을위한 ()의 생산 자원의 성능 피규어 3, 4 볼 수 있도록 허용합니다. 수법의 살인인에도 귀중한 기회를 제공합니다 Tefen 지출 프로덕션 환경에서 광범위한 시간이 더 문제가 어디에 있으며 무엇을 자신의 근본 원인 (들) MOS 결과 be.The 수 있다는게 이해가 우리 프로젝트의 범위를 수정하려면 설정 해결에 초점을 허용 주요 활동했다. 예를 들어, 그림 4에 노출이 도구를 설정하고 자신의 잠재 능력 향상을위한 생산이 아닌, 유휴 활동을 보여줍니다. MOS 데이터와 조합 Intersil의의 자동 데이터의 개선을 측정 될 수있는 기준을 명확 제공. 또한, 우리는 계산하고 구체적인 성능 수치를 Intersil의에 의해 목표를 달성하기 위해 필요한 수 있었다 기준을 수립하여 생산 목표. 높은 수준에서 기본 성능 및 용량 영역을 출력 및 사이클 타임의 조합을 통해 표현되었다이 프로젝트를 통해 매주 trended했다. 우리는 진전이 시점에서 신속 DMAIC 프로세스의 다음 단계로, 그리고 ""근본 원인 용량 냐는 어떤됐다 분석하기 시작했다. 개선 기회를 이전 수법의 살인인에 의해 확인된 목록을 사용하여 우리가 4 팀이 만들어 초점을 병렬로 문제가 태클을합니다. 진보와 커뮤니케이 션을 보장하기 위해, 포커스 팀 관리를 매주 운영위원회에서 지역 meetings.Given보고에 대한 책임 우리는 4 개의 주요 영역 : 1에 집중 교차 기능적 팀이 만든 기회를 집중했다. 작동 방법? 평가의 영역 성능 층 사업자 작동 방법에 대한 최고 결정에 영향을 미치는 문제 영역을 분리 방법, 표준화 및 품질 향상을 위하여 새로운 작업 방법을 만드십시오. 예를 들어, (그림 참조 교대 변경 도구가 활동하는 동안 드롭 다운 주어진. 3), 하나의 작업이 팀의했다 어떤 변화를 분석하는 일이었다 이 드롭 다운의 원인 변경, 근본 원인을 이해하고 근무 교대 과정을 향상시킵니다. 2. 파견 및 예약? 평가 영역의 상호 작용 및 성능에 MES의 교육의 영향, , 처리량 및 사이클 타임 최적화 언제 냐는 파악하고 필요한 변경 사항을 성능을 향상시킬 수 있도록. 파견 팀은 또한 우선순위 전략 및 재설계에 대한 책임을 허용 처음 사진 영역에 적용 될 알고리즘, 그리고 팹에 걸쳐 확대했다. 예를 들어, 대부분의 사진 영역 도구를 물을 가지고와 - 정말이 팀이 하나의 작업 속도를 냐는 채워 이해가 무슨 정보 통신 사업자 최적의 제품을 무대로 제품에서 속도의 손실을 최소화 타입 changeovers 필요하고이 정보를 위해 사업자에게 효과적이고 효율적인 방식에 대한 소개입니다 실시간으로 파견을 실행하는 데 사용되는 영역을 나열합니다. 3. 용량 계획? 더 잘 이해하고 세부 전략, 용량 계획 도구를 만들기 및 도구 용량 요구 사항을 예측, 상세한 속도 모델을 만들 도구를보다 정확하게 모델 도구 처리량, 그리고 기회를 식별하는 도구의 성능을 개선합니다. 예를 들어, 아래의 도구의 성능을 계산 (스프레드 시트 속도 모델을 만드는 과정 동안 , 도구의 성능 측정 데이터를 기반으로) 도구의 운영 시나리오를 변화, 우리는 거의 발자국이나 도구를 증가시키지 않고도 도구의 출력을 두 번 것이 대체 도구를 구성 확인 , 수율 문제가 발생하고 Intersil의 유지 보수 및 공급 업체와 설계 및 업그레 이드 구현 일했다. 4. 교육? 문서화 및 변경 사항과 개선 formalizing, 접선의 (표준을 만드는 임무가 주어 운영 절차) 적절한 때에, 교육 관행에 변화를 통합. 이 팀의 목적은 필수적인 변화와 다른 팀들의 개선에 가져 가서들을 통합했다 작전 변경을 위해 미래의 교육 프로그램을 몇 가지, 교차 기능적 팀 초점을 주로 작품의 방대한 양을 필요한 파티션이었다 우리의 자원을 나누어에 대한 sustained.The 원동력입니다 운영 분석에서 할 수 개선 및 솔루션의 구현을위한 병렬 수 있도록합니다. 이상 적으로는, 변화와 개선을 제어하는 방식으로, 주요 성능 지표로 만든 것이 효과의 진도를 모니터링합니다. 술 위해 만들 그러나, 시장의 수요 및 용량의 제약, 시간으로 인해 본질었고, 자주 현실 세계에있는 경우, 양보를했다 최대한 빨리 결과를 얻고. 영역의 정보를 비용으로 다음 DMAIC 단계였다 "개선". 그 첫 번째 기간이 완료되었습니다 광범위한 작업을 감안하면 시간이 구원을 3 DMAIC 프로세스의 단계에서, 우리는 자신감이 우리의 개선 활동을 실행 느꼈다. 이 시점에서 우리의 위치를 만약 우리가 처음으로 3 단계에 우리가 일을 잘거야, 우리가 개선 활동이 될 것입니다되었다 성공했다. 이 시점에서 우리는 더 많은 시간과 노력을 실험을 설계 및 KPI보다 정확하게 각 개선 활동의 영향을 정량하는 방법 밖에 없었다. 하지만, 대신에 우리가 좀 더 일반적인 우리의 사이트에 보관 결론적으로 KPI의 그 높은 수준에서 (예를 들어, 도구는 가용성, 출력, 사이클 시간, 등) 및 KPI의 특정 정도로 개선에 관한 우리의 초기 기회를 나타내기 위해 개선을 나타냅니다. 예를 들어, 그림 6 요약 작업 방법 팀에서 일부 결과입니다. 처음 세 문제를 그림 6에 명시된 바와 같이 모든 교대 기간 통신 사업자의 성능에 영향을 미칠 것입니다. 셋 모두 개선 구현 병렬에서 이러한 문제가 매우 어려운 상황에서 각 근무 교대 문제에있다 효과의 크기를 결정합니다. 그러나, KPI가 표시됩니다 교대에서 도구의 성능 모니터 "결론"의 관점에서 만약 우리가 처음 발견 기회가 해결됩니다. 우리의 초기 데이터 수집은 총 면적은 용량의 약 3 %의 비효율을 통해 손실 표시 근무 교대와 휴식 시간. 우리는 노출 도구 집합에 대한 교대의 도구 실적을 추적할 KPI 개발했다. 그림 7의 트렌드 라인으로 달성됐다 원하는 결과를 보여줍니다. 사전을 구현하는 변경, 노출 도구 교대에서 용량 손실을 일주일에 1 주일에서 다양한 유사 약 8 %를 기록했다. 곧 첫 번째 작업 방법 개선 세를 구현한 후에, 용량 손실 약 3 %로 1 주일 - 투 - 일주일에 유사 콘텐츠를 대폭 감소 및 개선을 진행 중이다 sustained.Once 개선 및 구현 활동을했다, 고려의 마지막 단계에서 부여되어야 감소 DMAIC 프로세스, "제어". 성공적으로 사업을 고려 향상을 제어하려면 구현 활동의 양쪽을 용이하게 모니터링 및 프로세스를 생성해야합니다 조직에 대한 변경 사항을 영구적으로 삽입. 우리의 경우, 프로세스의이 단계의 실행을 두 가지 형태 : 1했다. 몇 가지 새로운 KPI의 두 세부 도구 및 지역의 실적을 추적할 수의 창조 높은 수준의 KPI 출력 및 사이클 타임과 관련한 전반적인 사진 영역의 실적을 추적하는 방법. 2. 간 기능을 훈련 팀 문서로 작전 변경 및 통합에 접선의 사용에 의해 Intersil의 교육학과 및 운영 관리 팀. 측정 및 성능의 특성에 대한 우리의 접근 방식을 계층 구조입니다. 변화와 개선의 초점 팀이 참여에 의해 시작 Intersil의 팹의 모든 수준에서 인사, 그리고 그 결과로, 세부 사항 및 문맥의 다른 수준의 KPI에 대한 목적을 명확하고 의미를 가지고 있어야합니다. 예를 들어, 가장 기초적인 수준에서 운영 면적 감독자 매우 구체적으로 실시간으로하는 방법이나 도구를 지역의 경우 일일 출력 대상을 만나게 될 것이다 실적을 평가할 수 있는지 알아야합니다. 내용이 필요한 수준의 건물 necessitated 일일 실적 차트 (그림을 참조하십시오. 8) 진짜 팀 각 작업 영역의 출력 / shift.Another 일반화에 단계에서 사용자에게 피드백을 제공하는 시간의 역사 성능 차트를 만드는 것입니다 그 정보가 성능에 관한 동향을 제공합니다. KPI의이 유형의 개선 여부에 상관없이, 그리고 장소를 복용하는 경우 지속적으로 개선되고 그 귀중한 볼 수있습니다. 예를 들어, 그림. 9 사이클 타임 성능 향상의 구현 후 코트 도구 세트 (점선)의 개선을 보여줍니다. 이 차트의 모든 사람을위한 좋은 그림을 잘하는 방법이 사이클 시간 일주일 개선 일주일, 그 출력이 일관성이있다거나 사이클 타임 단축되는 동시에 증가 주어진 유지되고있다. 최고 수준의 성능을 모니터링 짓을했다 KPI에요 전체 면적의 출력과 성능을 추적. "결론", 그렇게 얘기하고, 지역의 용량을 40 % 개선했다. 출력 증가와 사이클의 조합 시간 감소를 통해 전체 용량을 표시했다 이 목표를 초과했다. 높은 수준의 KPI의, Fig.10과 같은 (라인), 용량이 개선 모니터링 중요하고, 그 팹 성능을 높은 수준에서 지속 되었는데도 출력을 나타냅니다 productivity.Actual 사진 영역을 출력 및 35 % 증가이 수준에서 유지됐다. 출력, 실제 사이클 타임이 증가 동시에 60 % 이상 (그림 참조 감소했다. 10). 사이클 시간이 감소했습니다 이 낮은 수준을 유지했다. 출력 용량이나 사이클 시간에 대한 증가 용량은 항상 혼자 출력을 측정하여 표시되지 않습니다 감안할 때 사용할 수있습니다. 마찬가지로, 사이클 시간을 측정하지 않습니다 만약 출력이 증가하고있다는 항상 능력의 향상을 나타냅니다. 결과적으로, 푸아송 기반의 성능 곡선은 용량이 증가 사이클 시간 감소로 인한 추정하는 데 사용했다. 성능 곡선입니다 유익한 KPI의, 때문에 활용도가 함께 출력 또는주기 시간과 전체 용량을 표시하는 그래프로 작성할 수있습니다. 출력 및 성능 곡선 사이클 시간을 함께 나타낼 수있는 그래프는 어떻게 용량을 증가 , 출력, 또는 사이클 시간, 또는 푸아송 시스템 both.Using의 일부 조합에 대한 즉, 널리 사용되고있습니다, 운영 곡선 사이클 타임과 장비를 바탕으로 (즉, 서버) 활용도를 만들 수있습니다. 사이클 타임 X로 정상화되었다 요소 매개 변수를, 여기서 "x"를 하나의 단위로 시스템에서 보내는 시간입니다. 그림 11 성능 곡선 총 용량 추정 출력 및 사이클 타임의 개선을 결합하여 47 % 개선함으로써 원래 targets.In 변론을 초과, 6 시그마 DMAIC 접근 방식을 이해하고 문제에 대한 입증된 효과적인 방법이며 운영 개선을 만들어 낸다. 어떤과 마찬가지로 그것을 사용하는 도구, 이미 많은 방법으로 그것을 적용 Tefen Tefen successfully.About 미국, 유럽과 이스라엘의 7 개 사무소와 상장, 국제 업무 컨설팅 회사입니다. 회사에있다 전세계 포춘 500 대 고객의 전반적인 운영 효율성을 개선하는 경험 20 년. Tefen 설계 및 솔루션을 통해 운영 성능 향상을 구현하는 조직입니다. 초점의 주요 영역 운영의 우수성, 제조, 품질 등, 고객 서비스, 연구 개발, 공급망 관리. 전체 Tefen의 지원 프로그램 ISO 9001 인증 및 위치 TCS는 (총 고객 만족) 인증을 받았습니다. 우리의 손이 접근 -에 같지는 가치 중심의 결과를 제공하는 성공을 이루었습니다. 회사 창립 이후 수익성을 유지하고있다는 현재 직원을 고용하고
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